學程科目
| 科目碼 | 科目名稱 | 選必修 | 學分 | 授課老師 | 課程說明 | 開課單位 | 先修課程 |
| 前瞻固態記憶體 | 選修 | 1 | |||||
| 奈米等級微影製程 | 選修 | 1 | |||||
| 3D IC製程 | 選修 | 1 | |||||
| 3D IC製程 | 選修 | 1 | 林俊宏 | 光電所 | |||
| 量子物理（一） | 選修 | 3 | 陳岳男 | ||||
| 量子物理（二） | 選修 | 3 | 陳岳男 | ||||
| 固態物理 | 選修 | 3 | 彭洞清 | 電機系 | |||
| 量子物理學 | 選修 | 3 | 陳志方 | 電機系 | |||
| 半導體元件 | 選修 | 3 | 許渭州 | 電機系 | |||
| 工業電化學 | 選修 | 3 | 楊明長 | ||||
| 電化學 | 選修 | 3 | 蔡文達 | 材料系 | |||
| 高等動力學 | 選修 | 3 | 藍兆杰 | 機械所 | |||
| ＵＬＳＩ工程 | 選修 | 3 | 方炎坤 | 電機系 | |||
| 電子元件物理（一） | 選修 | 3 | 王水進 | 與廠商合開 | |||
| 電子元件物理（二） | 選修 | 3 | 張守進 | 與廠商合開 | |||
| 固態熱力學 | 選修 | 3 | 李炳鈞 | ||||
| 奈米材料與元件物理 | 選修 | 3 | 曾永華 | 電機系 | |||
| 分析電化學 | 選修 | 3 | 楊明長 | ||||
| 固態熱力學 | 選修 | 3 | 劉全璞 | 材料所 | |||
| 高等材料分析 | 選修 | 3 | 張高碩 | 材料所 | |||
| 田口式品質設計方法 | 選修 | 3 | 李輝煌 | 工科所 | |||
| 半導體奈米元件與技術 | 選修 | 3 | 方炎坤 | 微電所 | |||
| ＵＬＳＩ元件物理 | 選修 | 3 | 陳志方 | 微電所 | |||
| 奈米世代半導體製程概論 | 選修 | 3 | 彭洞清 | 微電所 | |||
| 半導體元件物理 | 選修 | 3 | 王水進 | 微電所 | |||
| 半導體及先進奈米化製程技術概論（一） | 選修 | 3 | 王英郎 | 微電所 | |||
| 半導體及先進奈米化製程技術概論（二） | 選修 | 3 | 王英郎 | 微電所 | |||
| 半導體製程 | 選修 | 3 | 彭洞清 | 微電所 | |||
| 電子材料工程 | 選修 | 3 | 劉全璞 | 與廠商合開 | |||
| 智慧財產權 | 選修 | 3 | 蔡達智 | 資管所 |
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