本學程分成2大主軸，包含

(1)奈米電子元件與理論
(2)次世代積體電路製程工業基本技術。課程架構則包括
a. 積體電路材料、分析相關
b. 積體電路元件相關
c. 積體電路製程技術相關
d. 製造技術應用於積體電路產業相關
e. 資訊、管理應用於IC產業相關等領域

在課程上不同領域規劃「核心基礎課程」與「進階專業課程」，建立完善之跨領域課程設計及整合機制。課程組成考慮本學程設立宗旨與教育目標，經過成大相關學院討論，並且與TSMC、UMC等IC產業公司討論，具備前瞻性與多元性之課程內容及教材教法，符合IC產業之需求。